4 A 1793/23

Leitsatz: 1. Staatliche Beihilfen, die nicht von einer Freistellungsverordnung im Sinne des Art. 108 Abs. 4 AEUV erfasst werden, unterliegen weiterhin der in Art. 108 Abs. 3 AEUV vorgesehenen Anmeldepflicht. 2. Die bedingungslose und verbindliche Vereinbarung einer Zahlung, damit der Zahlungsempfänger ohne Risiko notwendiges Rohmaterial für Gegenstände bestellen kann, welches für ein Investitionsvorhaben des Zuwendungsempfängers benötigt werde, kann eine erste rechtsverbindliche Verpflichtung zur Bestellung von Ausrüstung sein und damit den Beginn der Arbeiten im Sinne des Art. 6 Abs. 2 VO (EU) 651/2014 markieren. 3. Die bei der Kommission angemeldeten und von ihr gebilligten Regelungen der "Vierten Geänderten Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020" erlaubten nicht die Gewährung von regionalen Investitionsbeihilfen, ohne dabei zu gewährleisten, dass mit ihnen (nur) Liquiditätsengpässe von Unternehmen aufgrund der Covid-19-Pandemie behoben werden sollten und sichergestellt werden sollte, dass die dadurch verursachten Störungen die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen nicht beeinträchtigten. 4. Eine Begrenzung auf Beihilfen mit dieser Zielrichtung sah weder das Regionale Wirtschaftsförderungsprogramm NRW 2021 (RWP.NRW 2021) vor noch wurde im Antragsverfahren geprüft, ob der jeweilige Antragsteller die beantragte Beihilfe zur Behebung eines ihm drohenden pandemiebedingten Liquiditätsengpasses oder zur Sicherstellung seiner Existenzfähigkeit benötigte. 5. Im Rahmen innerstaatlicher Ermächtigungsnormen obliegt einer nationalen Stelle, die feststellt, dass eine Beihilfe, die sie gewährt hat, nicht die Voraussetzungen nach Art. 108 Abs. 3 AEUV erfüllt, die rechtswidrig gewährte Beihilfe aus eigener Initiative zurückzufordern. Dabei sind die mitgliedstaatlichen Behörden grundsätzlich nicht daran gehindert, die Rückforderung einer unter Verstoß gegen Art. 108 Abs. 3 Satz 3 AEUV gewährten Beihilfe auf den Teil zu beschränken, der nicht die in der Verordnung (EU) Nr. 651/2014 festgelegten Kriterien erfüllt. Bei einem Verstoß gegen Art. 6 Abs. 2 Satz 1 der Verordnung kommt eine solche Beschränkung allerdings nicht in Betracht, weil eine Beihilfe ohne den erforderlichen Anreizeffekt in voller Höhe nicht die Freistellungsvoraussetzungen erfüllt. Die Berufung der Klägerin gegen das Urteil des Verwaltungsgerichts Gelsenkirchen vom 12.9.2023 wird zurückgewiesen. Die Klägerin trägt die Kosten des Berufungsverfahrens. Dieses und das erstinstanzliche Urteil sind wegen der Kosten vorläufig vollstreckbar. Die Klägerin darf die Vollstreckung durch Sicherheitsleistung in Höhe von 110 % des aufgrund des Urteils vollstreckbaren Betrags abwenden, wenn nicht die Beklagte vor der Vollstreckung Sicherheit in Höhe von 110 % des jeweils zu vollstreckenden Betrags leistet. Die Revision wird nicht zugelassen. Tatbestand: Die Klägerin wendet sich gegen die Rücknahme einer ihr auf Grundlage des Regionalen Wirtschaftsförderungsprogramms NRW 2021 (RWP.NRW 2021) gewährten Zuwendung für die Errichtung einer neuen Betriebsstätte als Arbeitsplatz schaffende Maßnahme. Sie wurde am 14.6.2021 gegründet und am 16.7.2021 in das Handelsregister eingetragen. Alleinige Gesellschafterin war die E., die von der E. Holding (97,5%) und der Q. Paticipations S. A. (2,5%) gehalten wurde. Gegenstand des Unternehmens der Klägerin ist die Herstellung und der Vertrieb von Textilien aller Art. Die E. stellte Textiloberbekleidung her und verkaufte diese an die Gesellschaften der E. Gruppe; sie glich Verluste durch vorhandenes Eigenkapital aus und führte die Gewinne an die Muttergesellschaft ab. In dem durch die K. GmbH mit dem Jahresabschlussbericht für das Geschäftsjahr vom 1.3.2019 bis zum 29.2.2020 geprüften Lagebericht hieß es u. a., dass die Zahlungsfähigkeit der Gesellschaft im Geschäftsjahr jederzeit gegeben gewesen sei und dass in der Zeit nach dem Bilanzstichtag die Liquidität in der Corona-Krise habe gewährleistet werden können. Die Gesellschaft habe konzerninterne Darlehen erhalten. Die E. AG garantiere der E. Mode für eventuell auftretende Liquiditätsengpässe bis zum 30.9.2021 bis zu 50 Mio. Euro. Die Unternehmensfortführung sei daher als positiv anzusehen. Die E. beabsichtigte, nach der vor Jahren erfolgten Verlagerung der Textilien-Produktion ins Ausland wieder Textilien in Deutschland zu produzieren. Hierzu plante sie die Errichtung einer Betriebsstätte in Mönchengladbach mit einem Investitionsvolumen in Höhe von 2,2 Mio. Euro. Im Zusammenhang mit der Maßnahme sollten 40 neue Dauerarbeitsplätze geschaffen werden. Die Umsetzung des Projekts sollte durch die Klägerin erfolgen. Für dieses Vorhaben holte die E. ein Angebot der D. über die Lieferung eines Lagerroboters und einer Legemaschine in Höhe von 204.000,00 Euro ein, an das sich die D. 90 Tage lang gebunden sah. Am 22.4.2021 sandte die E. eine E-Mail an die D.. Darin hieß es u. a.: „vielen Dank für ihr Angebot. Um hinsichtlich der Materialbestellung keine Zeit mehr zu verlieren und um weiter Kostenerhöhungen aufgrund massiver internationaler Nachfrage auf dem Rohstoffmarkt zu vermeiden, möchten wir folgendes mit Ihnen vereinbaren: 1. Damit Sie ohne Risiko das notwendige Rohmaterial für die Robbi- und Legeanlage bestellen können, überweisen wir Ihnen 15.000,- € vorab. 2. Den Gesamtauftrag gemäß Ihres Angebots 210421-1Linie vom 21.04.2021 können wir erst nach Baugenehmigung erteilen. Bitte bereiten Sie eine entsprechende Rechnung über diese Materialbeschaffung vor. In diesem Zusammenhang schlage ich einen 14tägigen Statusabgleich vor. Wir werden alles Notwendige unternehmen, um Ihnen so früh wie möglich einen Gesamtauftrag zu erteilen. Mit der Bitte um Bestätigung dieser Vorgehensweise.“ Am gleichen Tag sandte die D. die Rechnung Nr. 4598 über 17.850,00 Euro an die E.. Darin hieß es u.a.: „(…) Vielen Dank für Ihren Auftrag. Gemäß Vereinbarung berechnen wir Ihnen wie folgt: Anzahlung zur Rohmaterialbeschaffung für geplante Robbi- und Legeanlage (Stahl für Fahrwerke, Stoffstangen und Ständer) – 15.000,00 EUR zzgl. 19 % USt. Am 21.5.2021 und unter Verwendung des dafür vorgesehenen Formulars beantragte zunächst die E. eine Zuwendung in Höhe von 660.000,00 Euro auf der Grundlage des Regionalen Wirtschaftsförderungsprogramms NRW 2021 (RWP.NRW 2021) – Richtlinie für die Gewährung von Finanzierungshilfen zur Förderung der gewerblichen Wirtschaft einschließlich des Tourismusgewerbes – Runderlass des Ministeriums für Wirtschaft, Innovation, Digitalisierung und Energie des Landes Nordrhein-Westfalen vom 15.4.2021 – V A 2 – 81.11 (nachfolgend: RWP-Richtlinie 2021) als Investitionsausgabenzuschuss. In einem Begleitschreiben teilte die E. mit, sie beabsichtige, das Projekt in einer neu zu errichtenden Tochtergesellschaft zu realisieren. In der Antragsbestätigung teilte die Beklagte der E. mit, einem Beginn der Maßnahme stehe ab dem 21.5.2021 nichts mehr im Wege, allerdings erfolge ein etwaiger Beginn mit den Arbeiten bis zur endgültigen Förderzusage auf eigenes Kostenrisiko. Unter 1. der RWP-Richtlinie 2021 „Rechtsgrundlagen und Zuwendungsziele“ heißt es u. a.: 1.1 Das Land gewährt Zuwendungen für Investitionsvorhaben der gewerblichen Wirtschaft einschließlich des Tourismusgewerbes sowie für nicht-investive Vorhaben nach Maßgabe dieser Richtlinie, der §§ 23, 44 Landeshaushaltsordnung (LHO) und der hierzu ergangenen Verwaltungsvorschriften unter Berücksichtigung des Europäischen Beihilfenrechts, insbesondere der Verordnung (EU) Nr. 651/2014 der Kommission vom 17. Juni 2014 (Allgemeine Gruppenfreistellungsverordnung (AGVO)) und der Verordnung (EU) Nr. 1407/2013 der Kommission vom 18. Dezember 2013 (De‑minimis-Verordnung) sowie der „Bundesregelung Kleinbeihilfen“ in der jeweils gültigen Fassung Unter Ziffer 5.3 „Höhe der Zuwendung“ heißt es u. a.: 5.3.1 In den Regionalfördergebieten der GRW, den sog. C-Fördergebieten (siehe Anlage 1), werden bezogen auf die förderfähigen Ausgaben folgende Förderhöchstsätze gewährt: 5.3.1.1 für Arbeitsplatz schaffende Vorhaben (Ziffer 2.3.1 bis 2.3.4 und Ziffer 2.5) • kleiner Unternehmen i. S. d. Ziffer 3.4 30 %, • mittlerer Unternehmen i. S. d. Ziffer 3.4 20 % • großer Unternehmen i. S. d. Ziffer 3.4 10 %, max. 7,5 Mio. EUR […] 5.3.3 Im Anwendungsbereich der „Bundesregelung Kleinbeihilfen“ und im Anwendungsbereich der „De-minimis“-Verordnung werden sowohl in C- als auch in D-Fördergebieten nach Maßgabe der jeweiligen Förderhöchstbeträge (max. 1.800.000 EUR Gesamtbetrag bzw. max. 200.000 EUR Gesamtbetrag innerhalb von drei Steuerjahren) folgende Förderhöchstsätze gewährt: kleine Unternehmen i. S. d. Ziffer 3.4 50 %, mittlere Unternehmen i. S. d. Ziffer 3.4 40 % große Unternehmen i. S. d. Ziffer 3.4 30 % Auf der Grundlage der Nr. 3.1 und 4 des Befristeten Rahmens für staatliche Beihilfen zur Stützung der Wirtschaft angesichts des derzeitigen Ausbruchs von COVID-19 der EU-Kommission vom 19.3.2020, Mitteilung C(2020) 1863 final, (ABl. C 91 I vom 20.3.2020, S. 1), der bei Erlass des Regionalen Wirtschaftsförderungsprogramms NRW 2021 in der Fassung seiner 5. Änderung vom 1.2.2021 (ABl. C 34/6) maßgeblich war – im Folgenden: Befristeter Rahmen – hatte das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie die später mehrfach geänderte „Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ vom 26.3.2020 bekannt gemacht (BAnz AT vom 31.03.2020 B2). Bei Erlass des Regionalen Wirtschaftsförderungsprogramms NRW 2021 galt die „Vierte Geänderte Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ vom 12.2.2021 (BAnz AT 01.03.2021 B1) – im Folgenden: Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 –. Nach § 1 Abs. 1 dieser Bundesregelung konnten beihilfegebende Stellen auf Grundlage dieser Beihilferegelung sogenannte Kleinbeihilfen an Unternehmen gewähren. Die Gesamtsumme der einem Unternehmen nach dieser Regelung gewährten Kleinbeihilfen durfte den Höchstbetrag von 1,8 Mio. Euro nicht übersteigen. Nach den Randnummern 15 ff. des Befristeten Rahmens sollte mit ihm ergänzend etwa zur Möglichkeit, Beihilfen zur Beseitigung von Schäden zu gewähren, die durch Naturkatastrophen oder sonstige außergewöhnliche Ereignisse nach Art. 107 Abs. 2 Buchst. b AEUV entstanden waren, ein zusätzlicher Rahmen geschaffen werden, der es den Mitgliedstaaten ermöglichte, den seinerzeitigen Schwierigkeiten von Unternehmen zu begegnen, gleichzeitig die Integrität des EU-Binnenmarkts zu wahren und für faire Wettbewerbsbedingungen zu sorgen. In den Randnummern 18 f. erklärte die EU-Kommission, nach ihrer Auffassung könnten staatliche Beihilfen für einen befristeten Zeitraum nach Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV, also zur Behebung einer beträchtlichen Störung im Wirtschaftsleben eines Mitgliedstaats, für mit dem Binnenmarkt vereinbar erklärt werden, um die Liquiditätsengpässe von Unternehmen zu beheben und sicherzustellen, dass die durch den COVID-19-Ausbruch verursachten Störungen die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen, insbesondere von KMU (= kleinen und mittleren Unternehmen), nicht beeinträchtigten. In dem Befristeten Rahmen legte die EU-Kommission die Vereinbarkeitsvoraussetzungen fest, anhand derer sie die von den Mitgliedstaaten nach Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV gewährten Beihilfen grundsätzlich prüfen werde. Unter Nr. 3.1 des Befristeten Rahmens war bestimmt, über die bestehenden Möglichkeiten auf der Grundlage des Art. 107 Abs. 3 Buchst. c AEUV hinaus könne unter den gegenwärtigen Umständen die vorübergehende Gewährung begrenzter Beihilfebeträge an Unternehmen, die sich einem plötzlichen Liquiditätsengpass oder der gänzlichen Nichtverfügbarkeit von Liquidität gegenübersähen, eine geeignete, erforderliche und gezielte Lösung darstellen. Die EU-Kommission werde solche staatlichen Beihilfen als nach Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV mit dem Binnenmarkt vereinbar ansehen, sofern sämtliche folgenden Voraussetzungen erfüllt seien: a. Die Gesamtbeihilfe übersteigt nicht 1,8 Mio. EUR je Unternehmen […]; b. die Beihilfe wird auf der Grundlage einer Beihilferegelung mit geschätzter Mittelausstattung gewährt; c. Unternehmen, die sich am 31. Dezember 2019 bereits in Schwierigkeiten befanden (im Sinne der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung), dürfen keine Beihilfen gewährt werden; Abweichend davon können Beihilfen für kleine und Kleinstunternehmen (im Sinne des Anhangs I der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung) gewährt werden, die sich am 31. Dezember 2019 bereits in Schwierigkeiten befanden, sofern diese Unternehmen nicht Gegenstand eines Insolvenzverfahrens nach nationalem Recht sind und sie weder Rettungsbeihilfen noch Umstrukturierungsbeihilfen erhalten haben. d. die Beihilfe wird spätestens am 31. Dezember 2021 gewährt; […] Unter Ziffer 8.1. des Antragsformulars gab die E. folgende dort vorformulierte Erklärung ab: „Ich/Wir erklären, mit den Arbeiten für das Investitionsvorhaben nicht vor Antragstellung (Datum des Antragseingangs bei der NRW.BANK) begonnen zu haben. Beginn der Arbeiten für das Investitionsvorhaben ist entweder a) der Abschluss eines der Ausführung zuzurechnenden Lieferungs- oder Leistungsvertrags oder b) der Beginn der Bauarbeiten für die Investition oder c) die erste rechtsverbindliche Verpflichtung zur Bestellung von Ausrüstung oder d) eine andere Verpflichtung, die die Investition unumkehrbar macht.“ Auf Nachfrage der Beklagten erklärte die E., dass die Y.-Gruppe als oberstes Konzernunternehmen der E. Gruppe und damit auch der E. die finanzielle Unterstützung für die Zukunft zugesagt habe, sodass die E. finanziell abgesichert sei. Das Geschäftsjahr 2020/2021 habe gezeigt, dass die finanzielle Stabilität gegeben gewesen sei. Die D. sandte die Auftragsbestätigung Nr. 416 vom 21.6.2021 über die Herstellung einer Robbi- und Legeanlage im Wert von 251.447,00 Euro brutto an die E.. Eingangs der Rechnung hieß es u. a.: „hiermit bestätigen wir Ihnen, dass zwischen Ihrem Unternehmen und uns […] ein Kaufvertrag (mit Montageverpflichtung) über die nachstehend näher beschrieben Legemaschine mit Lagerroboter […] zustande gekommen ist“ Unter dem 24.6.2021 sandte die Klägerin der D. folgendes Schreiben: „[…] hiermit bestätigen wir den Auftrag gemäß ihrer Auftragsbestätigung Nr. 416 vom 21.6.2021 abzüglich der Anzahlung/Rechnung Nr. 4598 vom 22.4.2021 (15.000 € ohne MwSt.)“ Die Abschlagsrechnung Nr. 270 über 57.584,00 Euro brutto (63.390,00 Euro netto abzüglich Anzahlung zur Rohmaterialbeschaffung gemäß Rechnung Nr. 4598 vom 22.4.2021 in Höhe von 15.000,00 Euro netto) vom 25.6.2021, die auf den Auftrag vom 24.6.2021 und die an die E. gerichtete Auftragsbestätigung vom 21.6.2021 Bezug nahm, sandte die D. gleichfalls an die E.. Anschließend teilte die E. der Klägerin mit, sie habe die Rechnungen 270 und 4598 der D. für sie beglichen. Am 25.6.2021 stellte die Klägerin in Abänderung des von der E. bereits gestellten Antrags vom 21.5.2021 bei der Beklagten unter Verwendung des Antragsformulars ihrerseits einen Zuwendungsantrag über 660.000,00 Euro auf Grundlage der RWP-Richtlinie 2021 für das oben genannte Investitionsvorhaben und gab dabei ebenfalls die Erklärung unter Ziffer 8.1 des Antragsformulars ab. Mit Bescheid vom 10.11.2021, hinsichtlich des Bewilligungs- und Durchführungszeitraums geändert durch Bescheid vom 13.4.2022, bewilligte die Beklagte der Klägerin unter Bezugnahme auf den schon im Mai eingereichten Förderantrag die beantragte Zuwendung in Höhe von 660.000,00 Euro als Anteilfinanzierung in Höhe von 30 % der zuwendungsfähigen Kosten in Höhe von 2.200.000,00 Euro zur Errichtung einer neuen Betriebsstätte als Arbeitsplatz schaffende Maßnahme. Unter Ziffer 6.5. der Nebenbestimmungen war u. a. festgelegt: „Die Förderung wird nach der „Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ SA.56790 (2020/N) in ihrer jeweiligen Fassung gewährt. Letztere wurde auf Grundlage des „Befristeten Rahmens für staatliche Beihilfen zur Stützung der Wirtschaft angesichts des derzeitigen Ausbruchs von COVID-19“ (ABl. der EU Nr. „(91 I/01 vom 20.03.2020 in der Fassung der Mitteilung Nummer C 2021/564 vom 28. Januar 2021) von der Europäischen Kommission für Deutschland genehmigt (Genehmigung (EU) Nummer 2021/1066 vom 12. Februar 2021 SA.61744 (2021/N)).“ Nachdem die Klägerin der E. die Ausgaben für die Rechnungen 270 und 4598 im Oktober 2021 erstattet hatte, reichte die Klägerin mit dem ersten Mittelabruf über einen Zuwendungsteilbetrag bei der Beklagten u. a. die vorgenannten Rechnungen zur Auszahlung des zuwendungsfähigen Anteils von 30 % der gezahlten Summe ein. Daraufhin hörte die Beklagte die Klägerin zur beabsichtigten Rücknahme der Zuwendung an, weil ein förderschädlicher vorzeitiger Maßnahmenbeginn vorliege. Im Anhörungsverfahren erklärte zunächst die Klägerin, bei der Zahlung von 15.000,00 Euro an die D. habe es sich um eine Risikobeteiligung der E. auf deren eigenes Risiko und ohne vorherige Auftragserteilung oder ‑bestätigung für Materialeinkäufe der D. für den Fall einer späteren Nichterteilung des Auftrags gehandelt. Nur so habe die E. sicherstellen können, dass der Gesamtprojektplan und der geplante Produktionsbeginn hätten eingehalten werden können. Ferner bestätigte die D., dass es sich bei der Zahlung von 15.000,00 Euro am 22.4.2021 um eine Risikobeteiligung für zu beschaffende Materialien zum Bau eines Meterwarenmagazins gehandelt habe, weil die E. noch nicht in der Lage gewesen sei, Aufträge zu erteilen. Die Risikobeteiligung habe erst im Falle einer Auftragserteilung mit dem Kaufpreis verrechnet werden sollen. Schließlich gaben die Klägerin und die E. Holding GmbH auf Verlangen der Beklagten jeweils folgende, von dieser vorformulierte, subventionserhebliche Erklärung ab: 1. Die E. International GmbH & Co. OHG (nachfolgend „E.“) [E.´s V. GmbH] hat nicht vor dem 21.05.2021 einen Lieferungs- und Leistungsvertrag abgeschlossen, der als Beginn des mit Landeshaushaltsmitteln aus dem RWP-NRW-Programm geförderten Investitionsvorhabens bewertet werden kann. 2. Vor dem 21.05.2021 hat das Unternehmen keinen Vertrag über die Lieferung einer Robbi- und Legeanlage aus oder im Zusammenhang mit dieser Zuwendungsangelegenheit vereinbart. 3. Bei der Rechnung der D. Maschinenbau GmbH (nachfolgend „D.“) vom 22.04.2021 in Höhe von 17.850,00 an die E. (…) Rechnung Nr. 4598, handelt es sich um die Inrechnungstellung einer Anzahlung, die ausschließlich zur Rohmaterialbeschaffung für eine geplante Robby- und Legeanlage (Stahl für Fahrwerke, Stoffstangen und Ständer) diente. Der rechtlich verbindliche Auftrag zur Fertigung dieser Anlage war bis zum 21.05.2021 noch nicht erteilt. 4. Für die Bezahlung der Rechnung der D. vom 22.04.2021 in Höhe von 17.850,00 gab es weder einen Auftrag noch eine Auftragsbestätigung. Die Bezahlung erfolgte allein auf Risiko der E.. Es handelte sich um eine Risikobeteiligung der E. für Materialeinkäufe der D. für den Fall einer späteren Nichterteilung eines Auftrags. 5. Im Fall einer endgültigen Nichterteilung des Auftrags zur Herstellung der Robby- und Legeanlage bestand für die E.´s V. GmbH keinerlei vertragliche Verpflichtung gegenüber der D. und der E., insbesondere nicht zur Zahlung der Risikobeteiligung in Höhe von 17.850,00 Euro an die E. oder die D.. 6. Im Fall der endgültigen Nichterteilung des Auftrags zur Herstellung der Robby- und Legeanlage bestand für die D. £ eine S keine Verpflichtung zur Erstattung der Risikobeteiligung in Höhe von 17.850,00 an die E.. Eine im Wesentlichen entsprechende Erklärung gab auch die D. ab, allerdings ohne die oben unter 1. angeführte Erklärung. Mit Bescheid vom 24.6.2022 nahm die Beklagte den Bewilligungsbescheid in voller Höhe mit Wirkung für die Vergangenheit zurück. Der Zuwendungsbescheid sei rechtswidrig, weil ein Verstoß gegen das in Nr. 4.4 und 7.2 der RWP-Richtlinie 2021 und Nr. 1.3 der Verwaltungsvorschrift zu § 44 LHO NRW geregelte Verbot des vorzeitigen Maßnahmenbeginns vorliege, der bei der Rücknahme im Rahmen der Ausübung der Verwaltungspraxis zu berücksichtigen sei. Der Abschluss des Rohstoffpreissicherungsgeschäfts zwischen der E. und der D. am 22.4.2021 sei als förderschädlicher vorzeitiger Maßnahmenbeginn einzuordnen. Mit dem Abschluss dieses Geschäfts hätten sich die E. und die D. bereits verpflichtet, Leistungen im Rahmen des zur Förderung beantragten Investitionsvorhabens zu erbringen. Dies müsse sich die Klägerin, die letztendlich mit der Anzahlung belastet worden sei und hierfür Fördermittel abgerufen habe, insbesondere nach § 4 Abs. 2 SubvG zurechnen lassen. Letztlich habe auch die Klägerin selbst das Vorgehen der E. akzeptiert, als sie am 24.6.2021 mitgeteilt habe, dass sie den Auftrag zur Herstellung der Robby- und Legeanlage abzüglich der Anzahlung über 15.000 Euro bestätige. Ihren Änderungsantrag habe sie erst anschließend am 25.6.2021 eingereicht. Auf Vertrauensschutz könne sich die Klägerin nicht berufen, weil sie die Bewilligung durch Angaben erwirkt habe, die in wesentlicher Beziehung unrichtig gewesen seien: Sie und die E. hätten im jeweiligen Antragsformular angegeben, keinen förderschädlichen Maßnahmenbeginn vorgenommen zu haben. Außerdem habe die Klägerin die Rechtswidrigkeit der Zuwendung gekannt. Die handelnden Personen hätten in Kenntnis der Problematik des förderschädlichen vorzeitigen Maßnahmenbeginns versucht, eine Regelung zu finden, die ein Erlangen und Behaltendürfen der Zuwendung gesichert hätte. Zur Begründung ihrer dagegen gerichteten Klage hat die Klägerin im Wesentlichen vorgetragen: Mit der Vereinbarung der Anzahlung sei noch kein Vertrag zustande gekommen, der der Ausführung eines Lieferungs- oder Leistungsvertrags zuzurechnen wäre oder eine erste rechtsverbindliche Bestellung von Ausrüstung enthalten hätte. Der E. habe kein Primäranspruch auf Lieferung der Anlage oder von Teilen davon gegen die D. zugestanden. Es habe sich – angesichts erheblich gestörter globaler Lieferketten durch die Corona-Pandemie sowie großer Schwankungen und Steigerungen bei den Rohstoff- und Materialpreisen – um eine förderunschädliche Vorbereitungsmaßnahme zur Preissicherung und Sicherstellung der Realisierung des Gesamtvorhabens in Form eines bedingten Termingeschäfts ohne rechtliche Bindung gehandelt. Die Anzahlung an die D. sei auf eigenes Risiko der E. erfolgt und nicht zurückzuzahlen gewesen, falls der Auftrag nicht erteilt worden wäre. Die Klägerin selbst habe mit ihrem Schreiben vom 24.6.2021 an die D. weder einen der Ausführung zuzurechnenden Lieferungs- oder Leistungsvertrag noch eine sonstige rechtsverbindliche Verpflichtung zur Bestellung von Ausrüstung gegenüber der D. vereinbart: Es habe sich um eine Bestätigung der an die E. gerichteten Auftragsbestätigung unter Abänderungen gehandelt, auf die die D. ihr gegenüber nicht mehr reagiert habe. Im Übrigen setze der Zuwendungsbescheid den Durchführungszeitraum für das Investitionsvorhaben ohnehin auf den 1.6.2021 bis zum 30.4.2022 fest. Das frühere Verhalten der E. sei der erst später gegründeten Klägerin auch nicht über § 4 Abs. 2 SubvG zurechenbar. Die Klägerin sei nicht gegründet worden, um einen – unterstellten – Verstoß der E. gegen das Verbot des vorzeitigen Maßnahmenbeginns zu heilen. Die Rücknahme sei auch ermessensfehlerhaft. Die Beklagte habe den Charakter der Anzahlung und ihre Höhe von 15.000 Euro nicht ausreichend berücksichtigt. Angesichts einer Investition in Höhe von 2,2 Mio. Euro könne nicht davon ausgegangen werden, dass die Anzahlung die Investition „unumkehrbar“ gemacht habe. Außerdem sei nicht berücksichtigt worden, dass der von ihr bemühte Rücknahmegrund nur einen Teil der Fördergelder betreffe und dass die Klägerin, die E. sowie die D. die von der Beklagten vorformulierten Erklärungen abgegeben hätten, sodass die Klägerin habe davon ausgehen dürfen, damit sei der Sachverhalt in ihrem Sinne geklärt und eine Rücknahme komme nicht mehr in Betracht. Die Klägerin hat beantragt, den Rücknahmebescheid der Beklagten vom 24.6.2022 aufzuheben. Die Beklagte hat beantragt, die Klage abzuweisen. Sie hat zur Begründung ergänzend zu den Ausführungen im angegriffenen Bescheid im Wesentlichen vorgetragen: Am 22.4.2021 sei zwischen der E. und der D. ein bindender Vertrag geschlossen worden. Die Parteien hätten sich mit Abschluss des Rohstoffpreissicherungsgeschäfts verpflichtet, Leistungen im Rahmen des zur Förderung beantragten Investitionsvorhabens zu erbringen. Es sei Material für die Herstellung einer Maschine, deren Herstellung und Beschaffung von der Beklagten habe gefördert werden sollen, vor Beantragung der Zuwendungsmittel auf Veranlassung der E. durch die D. gekauft, der Zuwendungsempfängerin in Rechnung gestellt und von dieser im Rahmen des Mittelabrufs zur Mitfinanzierung angemeldet worden. Das Rohstoffpreissicherungsgeschäft und der angestrebte Vertrag seien eine wirtschaftliche und denklogische Einheit; es diene als Zwischenschritt der wirtschaftlichen und kostengünstigen Realisierbarkeit des im Kern beabsichtigten Geschäfts. Die E. habe sich – auf Kosten der Klägerin – der Entscheidungsfreiheit entledigt, den Auftrag an einen Dritten zu erteilen oder das Projekt nicht mehr durchzuführen, ohne einen finanziellen Verlust zu erleiden. Die Klägerin müsse sich das Handeln der E. zurechnen lassen, weil die Klägerin bei Antragstellung noch nicht existiert und die E. für diese gehandelt habe. Maßgebend für den Zeitpunkt des vorzeitigen Maßnahmenbeginns sei nach der Förderrichtlinie die Antragstellung und nicht der im Zuwendungsbescheid festgelegte Durchführungszeitraum. Die Rücknahmeentscheidung beruhe auf einer pflichtgemäßen Ermessensentscheidung. Aufgrund der unrichtigen Angaben und Kenntnis der Klägerin von der Rechtswidrigkeit liege eine Ermessensreduzierung vor. Anhaltspunkte für einen atypischen Ausnahmefall lägen nicht vor. Die vollständige Rücknahme der Bewilligung entspreche – ungeachtet der Geringfügigkeit der Anzahlung im Verhältnis zur Gesamtinvestition – der Verwaltungspraxis der Beklagten in Fällen des vorzeitigen Maßnahmenbeginns. Die nachträglich abgegebenen – zwar vorformulierten, aber ergebnisoffenen – subventionserheblichen Erklärungen seien dafür ausschlaggebend gewesen, die Zuwendung zurückzunehmen. Das Verwaltungsgericht hat die Klage abgewiesen und zur Begründung im Wesentlichen ausgeführt: Die Bewilligung verstoße gegen Art. 3 GG. In ihrer Verwaltungspraxis habe die Beklagte die Vorgaben zum Ausschluss des vorzeitigen Maßnahmenbeginns so gehandhabt, dass sie auf das Datum des Abschlusses von dem geförderten Verfahren zuzurechnenden Verträgen unabhängig von den näheren Umständen des Zurechnungsgrundes abgestellt habe. Stelle sie fest, dass der betreffende Vertrag vor dem Eingang des Antrags abgeschlossen worden sei, gehe sie ohne Weiteres von einem förderschädlichen vorzeitigen Maßnahmenbeginn aus. Hier liege in der bereits am 22.4.2022 verbindlich vereinbarten „Anzahlung“ eine Bestellung, die vor dem Eingang der Förderanträge der Klägerin und der E. getätigt worden sei. Die Zurechenbarkeit dieser Bestellung zur Ausführung des Investitionsvorhabens folge schon daraus, dass die Klägerin die Anzahlung mit dem Mittelabruf zur Abrechnung gestellt habe und die Anzahlung entsprechend dem klaren Wortlaut der eingereichten Rechnung vom 22.4.2021, Bestätigung der Klägerin vom 24.6.2021 und Abschlagsrechnung vom 25.6.2021 Teil des der Ausführung zuzurechnenden Lieferungsvertrags mit der D. gewesen sei. Die Vorfestlegung zwischen der E. und der D. sei der Klägerin zuzurechnen, weil diese die Anzahlung mit dem Mittelabruf geltend gemacht, die E. den Zuwendungsantrag bereits für die Klägerin gestellt und die Klägerin die vertraglichen Bindungen zwischen der E. und der D. übernommen habe. Auf Vertrauensschutz könne sich die Klägerin nicht berufen, weil ihre Erklärung im Antrag, vor Antragstellung nicht mit dem Investitionsvorhaben begonnen zu haben, unrichtig gewesen sei. Die Rücknahme des gesamten Bewilligungsbescheids sei auch die richtige Rechtsfolge gewesen. Ein Beginn des Vorhabens vor Antragstellung führe gemäß Ziffer 4.4. Satz 3 der Förderrichtlinie regelmäßig zur Aufhebung des gesamten Zuwendungsbescheids. Ein atypischer Ausnahmefall sei nicht ersichtlich. Unbeschadet dessen habe die Beklagte, indem sie dem öffentlichen Interesse an der Wirtschaftlichkeit und Sparsamkeit Vorrang gegenüber dem Interesse der Klägerin am Erhalt der Zuwendung eingeräumt habe, dem Zweck der Ermächtigung entsprechende nicht zu beanstandende Ermessenserwägungen angestellt. Mit ihrer zugelassenen Berufung trägt die Klägerin unter Wiederholung und Vertiefung ihrer erstinstanzlichen Ausführungen ergänzend im Wesentlichen vor: Die E. habe um ihre Verpflichtung gewusst, noch keinen Lieferungsvertrag abschließen zu dürfen. Deshalb habe sie bewusst nur eine Abrede zur Preissicherung bzw. Liefersicherheit getroffen, die gerade noch keinen Liefervertrag bzw. Gesamtauftrag habe darstellen sollen. Diese Abrede als einen der Ausführung zuzurechnenden Lieferungsvertrag extensiv auszulegen, würde den allein für sie verbindlichen Wortlaut der Erklärung im Antragsformular rechtsstaatlich bedenklich völlig überdehnen. Der Zuwendungsempfänger müsse klar und eindeutig wissen, was ihm erlaubt und was ihm verboten sei. Wie eine Formulierung im Antragsformular zu verstehen sei, könne nicht von einer dem Antragsteller unbekannten und gegebenenfalls wechselnden Verwaltungspraxis der Bewilligungsbehörde abhängig sein. Durch die Abrede mit der D. habe der Vertragsabschluss nur gesichert, nicht aber bereits erfolgen sollen. Vor Abschluss des Liefervertrags habe es sich um eine verlorene Anzahlung gehandelt, die erst nach dem Vertragsschluss habe angerechnet werden sollen. Die Klägerin habe auch keine Mittel für die Vereinbarung zur Preissicherung abrufen wollen, sondern nur Mittel für den später abgeschlossenen Liefervertrag. Durch die Vereinbarung der Anzahlung habe die E. keinen Anspruch auf Übereignung des angeschafften Materials erworben. Die Gegenleistung der D. für die Anzahlung habe allein darin bestanden, ihren angebotenen Preis zu garantieren; sie sei nicht mit der Bestellung von Rohstoffen beauftragt worden und habe den Betrag nach Belieben verwenden können. Die D. habe nur Material anschaffen sollen, was ohne den späteren Lieferauftrag in ihrem Eigentum verblieben wäre und hätte verbleiben sollen; dies hätte sie für beliebige andere Kunden verwenden können. Zu einer Dienstleistung gegenüber der E. sei sie vor Auftragserteilung nicht verpflichtet gewesen. Ohne die Vereinbarung über die Anzahlung wäre aber nicht sichergestellt gewesen, dass die D. die Maschine im vorgesehenen Bewilligungszeitraum hätte liefern können. In der Leistung einer Anzahlung in Höhe von 15.000,00 Euro habe eine vernünftige kaufmännische Entscheidung zur Vermeidung eines nachträglichen Kostenanstiegs gelegen, die die Entscheidung für das Investitionsvorhaben insgesamt in keiner Weise „unumkehrbar“ gemacht habe. Dies könne auch nicht daraus geschlossen werden, dass das geförderte Vorhaben nach Bewilligung des Maßnahmenbeginns zum 21.5.2021 auch ohne die Zuwendung durchgeführt worden sei. Zudem habe die Anzahlung für die Robby- und Legeanlage nur einen Teil des aus insgesamt 22 Maschinen bestehenden geförderten Gesamtvorhabens im Wert von 2,2 Mio. Euro betroffen. Im Übrigen habe der Klägerin das Handeln der E. gar nicht zugerechnet werden dürfen, weil nicht die E. für sie die Zuwendung beantragt, sondern sie im eigenen Namen ihren Zuwendungsantrag gestellt habe. Der Zuwendungsbescheid sei auch nicht europarechtswidrig. Er verstoße nicht gegen die Allgemeine Gruppenfreistellungsverordnung. Die vorliegende Zuwendung sei nicht als Regionalbeihilfe, sondern als Kleinbeihilfe nach der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 auf Basis des „Befristeten Rahmens“ gewährt worden. Dieser gehe ausdrücklich über die Allgemeine Gruppenfreistellungsverordnung hinaus, die im Befristeten Rahmen als weiteres Instrument neben den dort als genehmigungsfähig dargestellten Beihilfen aufgeführt werde. Es sei mithin bei Gewährung der Förderung völlig klar und in Übereinstimmung mit dem europäischen Recht gewesen, dass vorliegend ein „Großunternehmen“ gefördert worden sei, welches in der Lage gewesen wäre, eine Investition in Höhe von 2,2 Mio. Euro als solche auch ohne die Förderung vorzunehmen. Die Kommission habe die Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 genehmigt, weil sie diese zur Behebung einer beträchtlichen Störung im Wirtschaftsleben eines Mitgliedstaats durch die COVID-Pandemie als erforderlich angesehen habe; darin komme es nicht auf einen Liquiditätsengpass, sondern ausschließlich auf eine Belebung der Investitionstätigkeit zur Abwehr der Störung des gesamtwirtschaftlichen Gleichgewichts an. Bei einem antragstellenden Unternehmen müsse kein Liquiditätsengpass eingetreten oder seine Existenzfähigkeit bereits konkret gefährdet gewesen sein. Mit dem Befristeten Rahmen hätten abstrakte Gefährdungen von Unternehmen abgewendet werden sollen; dementsprechend lasse dieser auch Beihilfen an Unternehmen zu, die sich nicht in Schwierigkeiten befänden. In Maßnahmen zur Behebung einer beträchtlichen Störung im Wirtschaftsleben habe der „Anreizeffekt“ derartiger Kleinbeihilfen gelegen. Einen weitergehenden Anreizeffekt im Einzelfall habe die Kommission nicht verlangt. Das Gebot der Antragstellung vor Beginn des Investitionsvorhabens sei daher ein nationales Erfordernis gewesen. Unabhängig davon habe die Zuwendung auch einen Anreizeffekt gehabt, weil sie die Investition jedenfalls in das strukturschwache C-Fördergebiet gelenkt habe. Dieser Effekt könne nicht verneint werden, weil die Klägerin bzw. die für diese handelnde E. den Zuwendungsantrag nicht vor Beginn der Durchführung des Investitionsvorhabens gestellt habe. Das unionsrechtliche Kriterium der Einreichung des Beihilfeantrags vor Beginn der Durchführung sei im Übrigen nicht anders auszulegen als im deutschen Zuwendungsrecht und ohnehin nur eine widerlegliche Vermutung für das Vorliegen des Anreizeffekts; der Beihilfeempfänger könne stattdessen alternative Beweise für das Vorliegen des Anreizeffekts vorbringen. Auch könne der Begriff „Beginn des Vorhabens oder der Tätigkeit“ in einer Einzelgenehmigung der Kommission nicht anders ausgelegt werden als in einer Freistellung der Kommission für ganze Gruppen von Beihilfen. Selbst wenn kein Anreizeffekt gegeben wäre, sei die Zuwendung nicht zurückzufordern, weil sie noch nicht gewährt worden sei und daher durch die Kommission noch notifiziert werden könne – zumal sie auch zweifelsfrei genehmigungsfähig sei. Die materielle Prüfung eines Anreizeffekts sei nicht von nationalen Stellen, sondern nur von der Kommission vorzunehmen, wozu der Rechtsstreit auszusetzen sei. Die Klägerin beantragt, das Urteil des Verwaltungsgerichts Gelsenkirchen vom 12.9.2023 zu ändern und den Rücknahmebescheid der Beklagten vom 24.6.2022 aufzuheben. Die Beklagte beantragt, die Berufung zurückzuweisen. Die Beklagte macht unter Wiederholung und Vertiefung ihres erstinstanzlichen Vorbringens ergänzend im Wesentlichen geltend: Auf Veranlassung der E. seien unstreitig durch die D. konkret Rohstoffe für die Herstellung der zu fördernden Maßnahme bestellt, eingekauft und bezahlt worden mit vor Stellung des Zuwendungsantrags vereinbarten Geldern, die das Maschinenbauunternehmen definitiv habe behalten dürfen und die die Klägerin im Mittelabrufverfahren für die Zuwendung geltend gemacht habe. Die Abrede habe auch eine Dienstleistung der D. für die E. bzw. die Klägerin zum Gegenstand gehabt, weil die Anzahlung dazu gedient habe, dass die D. Rohstoffe für eine Maschine habe bestellen sollen, die sie für die E.-Gruppe habe herstellen sollen. Darin habe der förderschädliche vorzeitige Beginn einer Investitionsmaßnahme gelegen, die mit Mitteln aus dem Regionalen Wirtschaftsförderungsprogramm habe gefördert werden sollen, ohne dass die entsprechende Erklärung im Antragsformular extensiv ausgelegt worden sei. Es habe zwar bislang keine vergleichbaren Vertragsgestaltungen über Anzahlungen für Rohmaterialbestellungen im Rahmen der Programmbearbeitung von Fällen aus dem RWP-Programm gegeben. Es entspreche aber ihrer ständigen Verwaltungspraxis, entsprechend den Vorgaben der Richtlinie RWP.NRW 2021, der Ziffer 1.3 der Verwaltungsvorschrift zu § 44 LHO NRW sowie der §§ 23, 44 LHO NRW alle Fälle von der Förderung ganz auszunehmen, in denen der Antragsteller bereits vorzeitig mit der Durchführung seines Investitionsvorhabens begonnen habe, indem er beispielsweise zu fördernde Gegenstände bestellt oder angezahlt habe. Bei vor Antragstellung begonnenen Vorhaben, für die bereits eine Bewilligung erfolgt sei, nehme sie stets den gesamten Zuwendungsbescheid mit Wirkung für die Vergangenheit wieder zurück, wenn es sich nicht um eine atypische Fallkonstellation handele. Der Zuwendungsbescheid sei auch rechtswidrig, weil die vorzeitige Materialbestellung gegen die Vorgaben des europäischen Beihilfenrechts, insbesondere des Art. 107 Abs. 3 Buchst. b) AEUV, verstoßen habe und weil die Klägerin die Bewilligung wegen der unterlassenen Mitteilung über die Beauftragung der D. mit der Bestellung der Rohstoffe für die Herstellung der zu fördernden Maschine durch Antragsangaben erwirkt habe, die bei nicht extensiver Auslegung in wesentlicher Beziehung unrichtig bzw. unvollständig gewesen seien. Die Zuwendung sei ausschließlich aus nationalen Haushaltsmitteln auf der Grundlage der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 gewährt worden: Das Förderprogramm des RWP.NRW 2021 sei in den europäischen Beihilferechtsrahmen aus der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung, der De-minimis-Verordnung sowie dem Befristeten Rahmen und der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 eingebettet gewesen. Die hier gewährte Förderintensität von 30 % sei nur aufgrund der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 möglich gewesen. Hauptzweck des Befristeten Rahmens, auf dem die Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 beruhe, sei zwar die Existenzsicherung in Not geratener Unternehmen. Es sei aber auch darum gegangen, sicherzustellen, dass auf den Märkten weiterhin genügend Liquidität zur Verfügung stehe, den Schaden für gesunde Unternehmen zu bekämpfen und die Kontinuität der Wirtschaftstätigkeit während und nach dem COVID-19-Ausbruch zu gewährleisten. Deshalb sei es möglich gewesen, das RWP.NRW 2021 für höhere Zuwendungen zu öffnen. Die Vorgaben der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung seien dennoch zu beachten gewesen, weil es sich bei der streitgegenständlichen Zuwendung nicht um eine unmittelbare existenzsichernde Beihilfegewährung, sondern um eine Investitionsbeihilfe gehandelt habe. Deshalb habe die streitgegenständliche Zuwendung einen Anreizeffekt für die Klägerin haben müssen, das Investitionsvorhaben durchzuführen. Diesen Anreizeffekt habe die Zuwendung nicht gehabt. Auch da die Klägerin ihr Vorhaben ohne Fördermittel mittlerweile umgesetzt habe, sei davon auszugehen, dass sie es selbst dann in Mönchengladbach durchgeführt hätte, wenn die Beklagte die Zuwendung in Kenntnis der streitgegenständlichen Vereinbarung abgelehnt hätte. Das Land NRW sei im Übrigen berechtigt gewesen, die Anforderungen an die Gewährung einer Zuwendung auf Grundlage des Befristeten Rahmens und der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 strenger zu gestalten, als die EU das innerhalb ihres Beihilferechtsrahmens ermöglicht habe. Ein beihilferechtlicher Verstoß komme nur bei einem Verstoß gegen die weniger strengen europarechtlichen Vorgaben in Betracht. Auch der danach erforderliche Anreizeffekt sei nicht gegeben, weil sich die Klägerin schon ohne die Zuwendung rechtlich und wirtschaftlich gebunden habe und fest zur Realisierung des Investitionsvorhabens entschlossen gewesen sei. Die Notifizierung der Zuwendung sei nicht erforderlich, weil die Rücknahme nach nationalen Regeln habe erfolgen können, die Beihilfe nicht genehmigungsfähig sei und die Beklagte gerade die Beseitigung des Zuwendungsbescheids erreichen wolle. Wegen der weiteren Einzelheiten des Sach- und Streitstands wird auf den Inhalt des beigezogenen Verwaltungsvorgangs (ein Hefter) sowie der elektronisch geführten erst- und zweitinstanzlichen Gerichtsakten verwiesen. Entscheidungsgründe: Die Berufung der Klägerin hat keinen Erfolg. Die Klage ist unbegründet. Der Rücknahmebescheid der Beklagten vom 24.6.2022 ist rechtmäßig und verletzt die Klägerin nicht in ihren Rechten (§ 113 Abs. 1 Satz 1 VwGO). Ermächtigungsgrundlage für den Rücknahmebescheid ist § 48 Abs. 1 Satz 1 VwVfG NRW. Danach kann ein rechtswidriger Verwaltungsakt, auch nachdem er unanfechtbar geworden ist, ganz oder teilweise mit Wirkung für die Zukunft oder für die Vergangenheit zurückgenommen werden. Ein Verwaltungsakt, der ein Recht oder einen rechtlich erheblichen Vorteil begründet oder bestätigt hat, darf nur unter den Einschränkungen der Absätze 2 bis 4 zurückgenommen werden, § 48 Abs. 1 Satz 2 VwVfG NRW. Ein rechtswidriger Verwaltungsakt, der – wie hier – eine einmalige oder laufende Geldleistung oder teilbare Sachleistung gewährt oder hierfür Voraussetzung ist, darf nicht zurückgenommen werden, soweit der Begünstigte auf den Bestand des Verwaltungsakts vertraut hat und sein Vertrauen unter Abwägung mit dem öffentlichen Interesse an einer Rücknahme schutzwürdig ist, § 48 Abs. 2 Satz 1 VwVfG NRW. Die tatbestandlichen Voraussetzungen des § 48 Abs. 1 Satz 1 VwVfG NRW lagen vor. Der Bewilligungsbescheid war rechtswidrig (dazu unter I.). Das behördliche Ermessen war in Richtung der ausgesprochenen Rücknahme reduziert (dazu unter II.). I. Ein Verwaltungsakt ist rechtswidrig zustande gekommen, wenn das im Erlasszeitpunkt geltende Recht unrichtig angewendet oder bei der Entscheidung von einem Sachverhalt ausgegangen worden ist, der sich als unrichtig erweist. Vgl. BVerwG, Urteile vom 30.1.1969 – 3 C 153.67 –, BVerwGE 31, 222 = juris, Rn. 14, und vom 21.6.2017 – 6 C 3.16 –, BVerwGE 159, 148 = juris, Rn. 19. Die Bewilligung der Zuwendung zur Errichtung einer neuen Betriebsstätte als Arbeitsplatz schaffende Maßnahme an die Klägerin verstieß gegen Art. 107 Abs. 1 i. V. m. Art. 108 Abs. 3 AEUV. Nach Art. 107 Abs. 1 AEUV sind staatliche Beihilfen, die durch die Begünstigung bestimmter Unternehmen oder Produktionszweige den Wettbewerb verfälschen oder zu verfälschen drohen, grundsätzlich mit dem Binnenmarkt unvereinbar, soweit sie den Handel zwischen den Mitgliedstaaten beeinträchtigen. Nach Art. 108 Abs. 3 AEUV sind die Mitgliedstaaten zum einen verpflichtet, bei der Kommission alle Maßnahmen anzumelden, mit denen eine Beihilfe im Sinne von Art. 107 Abs. 1 AEUV eingeführt oder umgestaltet werden soll, und zum anderen, solche Maßnahmen nicht durchzuführen, solange die Kommission nicht abschließend über sie entschieden hat. Staatliche Beihilfen, die nicht von einer Freistellungsverordnung im Sinne des Art. 108 Abs. 4 AEUV erfasst werden, unterliegen weiterhin der in Art. 108 Abs. 3 AEUV vorgesehenen Anmeldepflicht. Vgl. EuGH, Urteil vom 5.3.2019 – C-349/17 –, ECLI:EU:C:2019:172, juris, Rn. 56 ff. (bezogen auf Art. 3 der Verordnung Nr. 800/2008). Der beihilferechtliche Unternehmensbegriff bezeichnet nach ständiger Rechtsprechung des Europäischen Gerichtshofs jede eine wirtschaftliche Tätigkeit ausübende Einheit, unabhängig von ihrer Rechtsform und der Art ihrer Finanzierung. Mehrere getrennte rechtliche Einheiten können für die Zwecke der Anwendung der Beihilfevorschriften als eine wirtschaftliche Einheit angesehen werden. Diese wirtschaftliche Einheit ist dann als das relevante Unternehmen anzusehen. In dieser Hinsicht sieht der Gerichtshof das Bestehen von Kontrollbeteiligungen und anderer funktioneller, wirtschaftlicher und institutioneller Verbindungen als erheblich an. Dieses Begriffsverständnis stimmt grundsätzlich mit der die Rechtsprechung des Europäischen Gerichtshofs zur Klarstellung abbildenden Definition eines "verbundenen Unternehmens" im Sinne von Anhang I Art. 3 Abs. 3 der Verordnung (EU) 651/2014 (Allgemeine Gruppenfreistellungsverordnung – AGVO) überein. Vgl. EuGH, Urteile vom 10.1.2006 – C-222/04 –, ECLI:EU:C:2006:8, juris, Rn. 107, 112 ff., m. w. N, und vom 16.12.2010 – C-480/09 P –, ECLI:EU:C:2010:787, juris, Rn. 49; OVG NRW, Urteil vom 15.5.2025 – 4 A 2550/22 –, juris, Rn. 69 ff., m. w. N. Die streitgegenständliche Zuwendung ist nicht gemäß Art. 108 Abs. 4 AEUV i. V. m. Art. 3 AGVO im Sinne des Art. 107 Abs. 2 oder 3 AEUV mit dem Binnenmarkt vereinbar und von der Anmeldepflicht nach Artikel 108 Abs. 3 AEUV freigestellt (1.). Die Zuwendung kann auch nicht auf die bei der Kommission angemeldeten und von ihr gebilligten sowie im Bewilligungszeitpunkt maßgeblichen Regelungen der „Vierten Geänderten Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ vom 12.2.2021, BAnz AT 01.03.2021 B1, gestützt werden (2.). 1. Nach Art. 3 AGVO sind u. a. Einzelbeihilfen auf der Grundlage von Beihilferegelungen im Sinne des Art. 107 Abs. 2 oder 3 AEUV mit dem Binnenmarkt vereinbar und von der Anmeldepflicht nach Art. 108 Abs. 3 AEUV freigestellt, sofern diese Beihilfen alle Voraussetzungen des Kapitels I sowie die für die betreffende Gruppe von Beihilfen geltenden Voraussetzungen des Kapitels III der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung erfüllen (a). Die zurückgenommene Zuwendung erfüllt diese Voraussetzungen nicht (b). a) Gemäß dem in Kapitel I aufgeführten Art. 1 AGVO gilt die Verordnung nur für dort aufgeführte Beihilfen, insbesondere Regionalbeihilfen, und gemäß Art. 6 Abs. 1 AGVO nur für Beihilfen, die einen Anreizeffekt haben. Beihilfen gelten gemäß Abs. 2 der Vorschrift als Beihilfen mit Anreizeffekt, wenn der Beihilfeempfänger vor Beginn der Arbeiten für das Vorhaben oder die Tätigkeit einen schriftlichen Beihilfeantrag in dem betreffenden Mitgliedstaat gestellt hat. Ausnahmen vom Erfordernis des Anreizeffekts nach Abs. 2, wie sie in Art. 6 Abs. 4 und 5 AGVO geregelt sind, greifen vorliegend ersichtlich nicht ein. Gemäß Art. 2 Abs. 23 AGVO ist unter „Beginn der Arbeiten“ entweder der Beginn der Bauarbeiten für die Investition oder die erste rechtsverbindliche Verpflichtung zur Bestellung von Ausrüstung oder eine andere Verpflichtung, die die Investition unumkehrbar macht, zu verstehen, wobei der früheste dieser Zeitpunkte maßgebend ist; der Kauf von Grundstücken und Vorarbeiten wie die Einholung von Genehmigungen und die Erstellung vorläufiger Durchführbarkeitsstudien gelten nicht als Beginn der Arbeiten. Zu der Art. 6 Abs. 2 AGVO entsprechenden Bestimmung in Art. 8 Abs. 2 der früheren Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung (EG) Nr. 800/2008 (ABl. 2008, L 214, S. 3) hat der Europäische Gerichtshof unter Berücksichtigung der Leitlinien für staatliche Beihilfen mit regionaler Zielsetzung entschieden, dass es nicht Aufgabe der nationalen Stellen ist, das Vorliegen eines tatsächlichen Anreizeffekts zu überprüfen, sondern zu überprüfen, ob der Beihilfeantrag „vor Beginn des Vorhabens oder der Tätigkeit“ gestellt wurde. Mit der „[Durchführung] des Vorhabens oder der Tätigkeit“ wurde nach der Rechtsprechung des Europäischen Gerichtshofs im Sinne dieser Bestimmung begonnen, wenn vor der Stellung des Beihilfeantrags durch den Abschluss einer bedingungslosen und rechtsverbindlichen Verpflichtung eine erste Bestellung von Anlagen, die für dieses Vorhaben oder für diese Tätigkeit bestimmt sind, aufgegeben wurde, egal wie hoch die eventuellen Kosten für den Rücktritt von dieser Verpflichtung sind. Vgl. EuGH, Urteil vom 5.3.2019 – C-349/17 –, ECLI:EU:C:2019:172, juris, Rn. 55 ff., 69 ff., 82; siehe auch EuGH, Urteil vom 12.10.2023 ‒ C-11/22 ‒, ECLI:EU:C:2023:765, juris, Rn. 61. Es obliegt den zuständigen nationalen Stellen, im Einzelfall die genaue Art der Verpflichtungen zu prüfen, die ein potenzieller Beihilfeempfänger vor der Stellung eines Beihilfeantrags gegebenenfalls eingegangen ist. Vgl. EuGH, Urteil vom 5.3.2019 – C-349/17 –, ECLI:EU:C:2019:172, juris, Rn. 75. b) Davon ausgehend ist die zurückgenommene Zuwendung nicht nach Art. 3 AGVO i. V. m. Art. 108 Abs. 4 AEUV von der Anmeldepflicht nach Art. 108 Abs. 3 AEUV freigestellt und mit Art. 107 Abs. 1 AEUV vereinbar, weil der Beihilfeantrag für und durch die Klägerin erst nach Beginn der Arbeiten (Art. 6 Abs. 2 AGVO) gestellt worden ist. Bei der Vereinbarung zwischen der E. und der D. vom 22.4.2021 handelte es sich um eine der Klägerin als Teilunternehmen des beihilferechtlich maßgeblichen verbundenen Konzernunternehmens zuzurechnende und vor Stellung des Beihilfeantrags der E. für die Klägerin erfolgte erste rechtsverbindliche Verpflichtung zur Bestellung von Ausrüstung, die ausweislich der abgegebenen subventionserheblichen Erklärungen für das Vorhaben der Klägerin bestimmt waren. Die E. verpflichtete sich ausgehend von ihrer an die D. gerichteten E-Mail vom 22.4.2021 – bedingungslos und rechtsverbindlich –, an die D. 15.000,00 Euro zzgl. 19% USt zu zahlen, damit diese ohne Risiko das notwendige Rohmaterial für die Robbi- und Legeanlage bestellen konnte, welches für ein Vorhaben der Klägerin, einer hundertprozentigen Tochtergesellschaft der E., benötigt wurde, für das diese die Beihilfe beantragt hatte. Schon aus der E-Mail ergab sich sinngemäß zweifelsfrei, dass hinsichtlich der Materialbestellung für die geplante Anlage keine Zeit mehr verloren werden sollte. Des Weiteren hatte die Klägerin bereits in der ersten Stellungnahme auf die Anhörung angegeben, die E. habe wegen seinerzeitiger Engpässe bei der Materialbeschaffung nur durch die Anzahlung sicherstellen können, dass die D. Rohmaterial für die geplante Anlage habe bestellen und dadurch der Gesamtprojektplan und der geplante Produktionsbeginn habe eingehalten werden können. Die Bestellung von Rohmaterial für die zu fördernde Anlage war damit jedenfalls Geschäftsgrundlage für die rechtsverbindliche Vereinbarung der Anzahlung. Ob die D. im Gegenzug – zur Preissicherung – zur Bestellung der Rohmaterialien zur Erstellung der für das Vorhaben der Klägerin erforderlichen Maschinen auch verpflichtet war oder ihr diese lediglich oblag, kann danach auf sich beruhen. Jedenfalls war im Sinne der oben genannten Klarstellung durch den Europäischen Gerichtshof durch den Abschluss der bedingungslosen und rechtsverbindlichen Verpflichtung zur Zahlung von 15.000,00 Euro eine erste Bestellung von Anlagen bzw. Ausrüstung, die für dieses Vorhaben oder für diese Tätigkeit bestimmt waren, aufgegeben worden. Denn der Bestellung von Ausrüstung im Sinne von Art. 2 Nr. 23 AGVO, die für das zu fördernde Vorhaben bestimmt waren, diente die Anzahlung. Dem steht in tatsächlicher Hinsicht der Umstand nicht entgegen, dass zunächst nur Rohmaterialien bestellt werden sollten, um das Vorhaben fristgerecht zu ermöglichen. Im Rahmen der Beurteilung, ob für eine allgemein freigestellte Beihilfe ohne gesonderte Prüfung durch die Kommission im Einzelfall von dem Bestehen des erforderlichen Anreizeffekts ausgegangen werden kann, kommt es nur darauf an, dass in Bezug auf die Durchführung des zu fördernden Vorhabens noch keine rechtsverbindlichen Verpflichtungen eingegangen worden sind, bevor der Beihilfeantrag gestellt worden ist, egal wie hoch die eventuellen Kosten für den Rücktritt von dieser Verpflichtung sind. 2. Die danach nicht freigestellte und weiterhin der in Art. 108 Abs. 3 AEUV vorgesehenen Anmeldepflicht unterliegende Investitionsbeihilfe kann auch nicht auf die bei der Kommission angemeldeten und von ihr gebilligten sowie im Bewilligungszeitpunkt maßgeblichen Regelungen der „Vierten Geänderten Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ vom 12.2.2021, BAnz AT 01.03.2021 B1, gestützt werden. Sie erlaubten nicht die Bewilligung der in Rede stehenden regionalen Investitionsbeihilfe für die Errichtung einer Textilfertigung in einem strukturschwachen Gebiet durch die durchgehend zahlungsfähige Klägerin, die Teil eines verbundenen Unternehmens war. Insbesondere war das insoweit beihilferechtlich maßgebliche verbundene Konzernunternehmen durch die Pandemie nicht vorübergehend in finanzielle Schwierigkeiten geraten. Auch hatte die gewährte Beihilfe nicht einmal entfernt den Zweck, Liquiditätsengpässe zu überwinden oder die Existenzfähigkeit des Unternehmens abzusichern. a) Art. 107 Abs. 2 und 3 AEUV sehen bestimmte Ausnahmen von dem Grundsatz der Unvereinbarkeit staatlicher Beihilfen mit dem Binnenmarkt vor, wie etwa die in Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV genannte Ausnahme für Beihilfen „zur Behebung einer beträchtlichen Störung im Wirtschaftsleben eines Mitgliedstaats“. Staatliche Beihilfen, die für die Ziele und unter den Voraussetzungen dieser Ausnahmebestimmungen gewährt werden, sind daher ungeachtet der Tatsache, dass sie geeignet sind, den Wettbewerb zu verfälschen und den Handel zwischen Mitgliedstaaten zu beeinträchtigen, mit dem Binnenmarkt vereinbar oder können für mit dem Binnenmarkt vereinbar erklärt werden. Vgl. EuGH, Urteil vom 4.10.2024 – C-124/23 P –, ECLI:EU:C:2024:860, juris, Rn. 26, 41, und vom 23.11.2023 – C-209/21 P –, EU:C:2023:905, juris, Rn. 30. Bei der Durchführung des Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV verfügt die Kommission über ein weites Ermessen, dessen Ausübung komplexe wirtschaftliche und soziale Wertungen voraussetzt. Vgl. EuGH, Urteil vom 4.10.2024 – C-124/23 P –, ECLI:EU:C:2024:860, juris, Rn. 30. Die Covid-19-Pandemie hat zu einer beträchtlichen Störung im Wirtschaftsleben Deutschlands geführt und fällt daher in den Anwendungsbereich von Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV. Der auf diese Vorschrift gestützte Befristete Rahmen der Kommission sollte die Vereinbarkeit von Beihilfen mit dem Binnenmarkt ermöglichen, mit denen Liquiditätsengpässe von Unternehmen aufgrund der Covid-19-Pandemie behoben werden sollten und sichergestellt werden sollte, dass die dadurch verursachten Störungen die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen nicht beeinträchtigten. Sobald die Kommission feststellt, dass eine beträchtliche Störung im Wirtschaftsleben eines Mitgliedstaats vorliegt, kann dieser, sofern auch die übrigen Voraussetzungen des Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV erfüllt sind, [von der Kommission] ermächtigt werden, staatliche Beihilfen in Form von Beihilferegelungen oder Einzelbeihilfen zu gewähren, die zur Behebung dieser beträchtlichen Störung beitragen. Vgl. EuGH, Urteil vom 4.10.2024 – C-124/23 P –, ECLI:EU:C:2024:860, juris, Rn. 42; EuG, Urteil vom 21.12.2022 – T-260/21 –, ECLI:EU:T:2022:833, juris, Rn. 52 f., 58, unter Hinweis auf Rn. 18 des „Befristeten Rahmens für staatliche Beihilfen zur Stützung der Wirtschaft angesichts des derzeitigen Ausbruchs von COVID-19“, der im hier streitgegenständlichen Bewilligungszeitpunkt in der Fassung seiner 5. Änderung vom 1.2.2021 (ABl. C 34/6) maßgeblich war. Der Erlass des Befristeten Rahmens befreite die Kommission nicht davon, mitgliedstaatliche Beihilferegelungen oder Einzelbeihilfen individuell zu prüfen. Bei der Prüfung war sie allerdings vorbehaltlich außergewöhnlicher Umstände nicht berechtigt, von den Vorschriften abzuweichen, die sie sich im Befristeten Rahmen selbst auferlegt hatte. Vgl. EuG, Urteil vom 21.12.2022 – T-260/21 –, ECLI:EU:T:2022:833, juris, Rn. 78, 83. Die von der Europäischen Kommission am 12.2.2021 mit Beschluss C(2021) 1066 final – State Aid SA. 61744 (2021/N) – gesondert genehmigte „Vierte Geänderte Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ ist dementsprechend weiterhin auf die Ziffern 3.1 und 4 des Befristeten Rahmens der Kommission in der seinerzeit geltenden Fassung gestützt. Sie gestattete als eng auszulegende Ausnahmeregelung, wie die Kommission im Befristeten Rahmen ausdrücklich klargestellt hatte (Rn. 17), als geeignete, erforderliche und gezielte Lösung (nur) die Gewährung von begrenzten Beihilfen, mit denen Liquiditätsengpässe von Unternehmen aufgrund der Covid-19-Pandemie behoben werden sollten und sichergestellt werden sollte, dass die dadurch verursachten Störungen die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen nicht beeinträchtigten (Rn. 21). Nur Beihilfen mit dieser Zielrichtung standen im Einklang mit der jeweiligen Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 und verfügten auf ihrer Grundlage über die erforderliche Genehmigung der Kommission. Vgl. bereits OVG NRW, Urteile vom 25.8.2025 – 4 A 1555/23 –, juris, Rn. 79 ff., und vom 1.10.2024 – 4 A 357/21 –, juris, Rn. 47 ff., jeweils m. w. N. Bereits in ihrer Genehmigung vom 24.3.2020 (SA. 56790) hatte die Kommission nochmals ausdrücklich klargestellt, dass die Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 auf Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV und Nr. 3.1 des Befristeten Rahmens beruht. Die Regelung sollte nach der Kommissionsgenehmigung (nur) die finanziellen Schwierigkeiten der Unternehmen beheben und sicherstellen, dass die durch den Ausbruch verursachten Störungen ihre Existenzfähigkeit nicht beeinträchtigten (Rn. 3). Begünstigt sollten danach von nationalen Behörden auszuwählende Unternehmen sein, die im Sinne der Ausführungen im Befristeten Rahmen von wirtschaftlichen Auswirkungen der Pandemie betroffen und dadurch vorübergehend in finanzielle Schwierigkeiten geraten waren, ohne die erhöhten Voraussetzungen für Unternehmen in Schwierigkeiten im Sinne von Art. 2 Abs. 18 AGVO zu erfüllen (Rn. 10 f., 30). In späteren Genehmigungen der insbesondere in ihrem § 1 Abs. 1 sowie ihrem § 2 Abs. 6 entsprechend dem in Rn. 22 geänderten Befristeten Rahmen überarbeiteten Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 hatte die Kommission hierauf Bezug genommen (SA. 56974, Rn. 20; SA. 58021, Rn. 16; SA. 59433, Rn. 13; SA. 61744, Rn. 17). Soweit sich die Behörden nicht darauf beschränkten, entsprechend der Genehmigung der Kommission Unternehmen auszuwählen, die im Sinne der Ausführungen im Befristeten Rahmen von wirtschaftlichen Auswirkungen der Pandemie betroffen waren, und ihnen begrenzte Beihilfen zu gewähren, mit denen pandemiebedingte Liquiditätsengpässe behoben werden sollten und sichergestellt werden sollte, dass die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen nicht beeinträchtigt wurde, überstieg die Einschätzung, ob nach anderen Kriterien bewilligte Beihilfen im Ergebnis mit der im Befristeten Rahmen angeführten Zielrichtung in Einklang standen und insbesondere erforderlich, angemessen und verhältnismäßig waren, um eine beträchtliche Störung im Wirtschaftsleben des betreffenden Mitgliedstaats zu beheben, vgl. EuGH, Urteil vom 4.10.2024 – C-124/23 P –, ECLI:EU:C:2024:860, juris, Rn. 33; EuG, Urteil vom 21.12.2022 – T-260/21 –, ECLI:EU:T:2022:833, juris, Rn. 49, die den nationalen Stellen obliegende einfach vorzunehmende Beurteilung, ob die jeweilige Zuwendung von der erteilten Genehmigung gedeckt war. Sie bedurfte komplexer wirtschaftlicher Beurteilungen, die der Kommission vorbehalten waren und von nationalen Stellen nicht berücksichtigt werden durften, so dass solche anders gearteten Beihilfen einer gesonderten Genehmigung der Kommission bedurft hätten. Vgl. EuGH, Urteil vom 5.3.2019 – C-349/17 –, ECLI:EU:C:2019:172, juris, Rn. 68 ff.; EuG, Urteil vom 21.12.2022 – T-525/21 –, ECLI:EU:T:2022:835, juris, Rn. 31; so auch OVG NRW, Urteil vom 25.8.2025 ‒ 4 A 1555/23 ‒, juris, Rn. 83 ff., m. w. N. Das Ändern der Voraussetzungen für die Antragsberechtigung durch ein nationales Förderprogramm kann mit einer Änderung einer bestehenden Beihilfe im Sinne von Art. 4 Abs. 1 der die Anmeldung von nationalen Beihilfen bei der Kommission näher regelnden Verordnung (EG) Nr. 794/2004 und folglich mit einer neuen Beihilfe im Sinne von Art. 1 Buchst. c der die Anwendung von Art. 108 AEUV näher regelnden Verordnung (EU) 2015/1589 gleichzusetzen sein, die gemäß Art. 108 Abs. 3 AEUV anzumelden wäre. Ob dies der Fall ist, haben die nationalen Gerichte zu prüfen. Vgl. EuG, Urteil vom 21.12.2022 – T-525/21 –, ECLI:EU:T:2022:835, juris, Rn. 30 ff., m. w. N. b) Gemessen daran konnte die Bewilligung der der Klägerin gewährten Investitionsbeihilfe nicht auf die Genehmigung der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 durch die Kommission gestützt werden. Da sie auch die Voraussetzungen von der Anmeldepflicht freigestellter Regionalbeihilfen nach der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung nicht erfüllte, hätte sie als neue Beihilfe einer anderen Beihilferegelung bedurft, die gemäß Art. 108 Abs. 3 AEUV bei der Kommission anzumelden und von ihr einzelfallbezogen zu genehmigen gewesen wäre. Die bei der Kommission angemeldeten und von ihr gebilligten sowie im Bewilligungszeitpunkt maßgeblichen Regelungen der „Vierten Geänderten Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ vom 12.2.2021, BAnz AT 01.03.2021 B1, erlaubten nicht die Gewährung von regionalen Investitionsbeihilfen, ohne dabei zu gewährleisten, dass mit ihnen (nur) Liquiditätsengpässe von Unternehmen aufgrund der Covid-19-Pandemie behoben werden sollten und sichergestellt werden sollte, dass die dadurch verursachten Störungen die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen nicht beeinträchtigten. So heißt es in Nr. 21 des Befristeten Rahmens, dass „unter den gegenwärtigen Umständen die vorübergehende Gewährung begrenzter Beihilfebeträge an Unternehmen, die sich einem plötzlichen Liquiditätsengpass oder der gänzlichen Nichtverfügbarkeit von Liquidität gegenübersehen, eine geeignete, erforderliche und gezielte Lösung darstellen kann, und in Nr. 22, dass die Kommission solche staatlichen Beihilfen als nach Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV mit dem Binnenmarkt vereinbar ansehen werde, sofern sämtliche der folgenden Voraussetzungen erfüllt seien. Daher greift schon aus systematischen Gründen der Einwand der Klägerin nicht durch, der Regelung in Nr. 22 sei zu entnehmen, dass für die Gewährung einer Zuwendung nach der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 ein Unternehmen keinen konkreten Liquiditätsengpass in einer bestimmten Höhe nachweisen müsse, sondern dass die Kommission insgesamt von drohenden Liquiditätsengpässen aller Unternehmen in Deutschland ausgegangen sei, weil eine beträchtliche Störung im Wirtschaftsleben Deutschlands vorgelegen habe. Nr. 22 des Befristeten Rahmens nimmt mit dem Begriff „solche“ auf Nr. 21 Bezug und macht damit den Zweck, Liquiditätsengpässe zu beseitigen oder die Existenz von Unternehmen zu sichern, zur allgemeinen Voraussetzung für Beihilfen, die nach Nr. 22 gewährt werden durften. In ihrer Genehmigung vom 24.3.2020 (SA. 56790) hatte die Kommission klargestellt, dass von der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 nur die von den nationalen Behörden auszuwählenden Unternehmen begünstigt sein sollten, die im Sinne der Ausführungen im Befristeten Rahmen von wirtschaftlichen Auswirkungen der Pandemie betroffen und dadurch vorübergehend in finanzielle Schwierigkeiten geraten waren (Rn. 10 f., 30). Drohende Liquiditätsengpässe aller Unternehmen in Deutschland hatte die Kommission danach keinesfalls angenommen. Auch der weitere Einwand der Klägerin bleibt ohne Erfolg, aus Nr. 22 Buchst. c des Befristeten Rahmens in der Fassung vom 19.3.2020, Mitteilung C(2020) 1863 final, (ABl. C 91 I vom 20.3.2020) ergebe sich, dass für die Gewährung einer Zuwendung nach der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 ein Unternehmen keinen konkreten Liquiditätsengpass in einer bestimmten Höhe habe nachweisen müssen. Nach dieser Regelung konnte die Beihilfe ursprünglich Unternehmen gewährt werden, die sich am 31.12.2019 nicht in Schwierigkeiten befanden (im Sinne der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung); sie konnte Unternehmen gewährt werden, die sich nicht in Schwierigkeiten befanden, und/oder Unternehmen, die sich am 31.12.2019 nicht in Schwierigkeiten befanden, aber aufgrund des COVID-19-Ausbruchs danach Schwierigkeiten hatten oder in Schwierigkeiten geraten sind. Diese von der Klägerin in der mündlichen Verhandlung vor dem Senat herangezogene Formulierung im Befristeten Rahmen war zum Zeitpunkt der hier in Rede stehenden Bewilligung nicht mehr maßgeblich. Rn. 22 Buchst. c des Befristeten Rahmens war bereits durch die Änderung des Befristeten Rahmens vom 3.4.2020 geändert worden; die geänderte Fassung galt, soweit für die Klägerin relevant, auch noch nach der 5. Änderung vom 1.2.2021 und der auf dieser Grundlage genehmigten „Vierten Geänderten Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ vom 12.2.2021, BAnz AT 01.03.2021 B1. Danach durften nach Rn. 22 Buchst. c Unternehmen, die sich am 31.12.2019 bereits in Schwierigkeiten befanden (gemäß Art. 2 Abs. 18 AGVO) keine Beihilfen gewährt werden. Die Änderung war bereits in § 2 Abs. 6 der von der Kommission am 11.4.2020 (SA.56974) genehmigten „Geänderte Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ vom gleichen Tag übernommen worden und folgte damit dem neuen Wortlaut des Befristeten Rahmens (Rn. 6 f. der Genehmigung). Dabei hatte die Kommission in Rn. 13 Buchst. b ihrer Genehmigung ausdrücklich auf die Klarstellung in dem Befristeten Rahmen in seiner Änderung vom 3.4.2020 hingewiesen und dies zur Grundlage ihrer Genehmigung gemacht. Überdies kann die Klägerin für ihre Argumentation, nach der Genehmigung der Kommission habe es keines Liquiditätsengpasses bedurft, nicht § 2 Abs. 6 der nach dieser Änderung maßgeblichen Fassung der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 heranziehen, wonach Unternehmen keine Beihilfen nach dieser Regelung gewährt werden durften, die sich am 31.12.2019 bereits in Schwierigkeiten befanden gemäß Art. 2 Abs. 18 AGVO. In dieser Vorschrift wird im Einzelnen definiert, unter welchen Umständen ein Unternehmen als ein Unternehmen in Schwierigkeiten anzusehen ist. Die dort aufgestellten Kriterien stehen in keinem Zusammenhang mit dem in Nr. 21 des Befristeten Rahmens angeführten plötzlichen Liquiditätsengpass unter den seinerzeit gegenwärtigen Umständen der Pandemie. Nr. 22 Buchst. c des Befristeten Rahmens in seiner bei der Bewilligung der Zuwendung an die Klägerin nicht mehr maßgeblichen Ursprungsfassung, wonach Beihilfen auch solchen Unternehmen gewährt werden konnten, die sich nach dem 31.12.2019 nicht (im Sinne von Art. 2 Abs. 18 AGVO) in Schwierigkeiten befunden haben, rechtfertigt danach unter keinem denkbaren Gesichtspunkt den Schluss, die Beihilfe könne gewährt werden, ohne das Ziel der Beseitigung pandemiebedingter Liquiditätsengpässe zu verfolgen. Auch aus dem Umstand, dass der Befristete Rahmen – worauf der Europäische Rechnungshof im Sonderbericht 21/2024 vom 23.10.2024 „Staatliche Beihilfen in Krisenzeiten: Zügige Reaktion der Kommission, aber mangelhafte Kontrollen und Widersprüche in den Leitlinien zur Unterstützung der industriepolitischen Ziele der EU“, C/2024/6325, https://www.eca.europa.eu/de/publications/sr-2024-21, in Rn. 34 hingewiesen hat – und die durch die Kommission auf Grundlage des Befristeten Rahmens genehmigte „Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020“ keine Kriterien umfassten, mit denen sichergestellt wurde, dass die betreffende Beihilfe dem Liquiditätsbedarf entsprach, kann nicht abgeleitet werden, Beihilfen hätten nach der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 im Einklang mit der Genehmigung der Kommission auch dann gewährt werden dürfen, wenn diese nicht einmal der allgemein von der Kommission formulierten Zweckbindung gedient hätten. Wie ausgeführt ging die Kommission bereits in ihrer Genehmigung vom 24.3.2020 und auch später weiterhin davon aus, dass die Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 (nur) die Bewilligung von Beihilfen für solche Unternehmen ermögliche, die von den Auswirkungen der Pandemie betroffen waren und vorübergehende finanzielle Schwierigkeiten hatten sowie dass die Auswahl der danach berechtigten Unternehmen im Verantwortungsbereich der nationalen Bewilligungsbehörden lag. Dies hat die Kommission in ihrer Antwort auf den Sonderbericht des Europäischen Gerichtshofs der Sache nach bestätigt (S. 3 ff.) und bekräftigt, die Bedingungen für die Unterstützung solventer und weniger solventer Unternehmen, denen ein schwerwiegender Liquiditätsengpass gedroht habe, seien auf das Minimum beschränkt worden, das erforderlich gewesen sei, um sicherzustellen, dass die Beihilfe angemessen geblieben sei und nicht zu einer unangemessenen Wettbewerbsverzerrung auf dem Binnenmarkt geführt habe. Auch bei späteren Änderungen des Befristeten Rahmens sei durch die Förderbedingungen sichergestellt worden, dass die Begünstigten tatsächlich aufgrund der COVID-19-Krise mit Solvenzproblemen konfrontiert gewesen seien. Die Mitgliedstaaten seien dafür verantwortlich gewesen, dass ihre Behörden Unternehmen Beihilfen im Einklang mit den Beschlüssen der Kommission gewährt hätten (S. 6). Eine Begrenzung auf Beihilfen mit der Zielrichtung, Liquiditätsengpässe von Unternehmen aufgrund der Covid-19-Pandemie zu beheben und sicherzustellen, dass die dadurch verursachten Störungen die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen nicht beeinträchtigten, sah allerdings weder die RWP-Richtlinie 2021 vor noch wurde im Antragsverfahren geprüft, ob der jeweilige Antragsteller die beantragte Beihilfe zur Behebung eines ihm drohenden pandemiebedingten Liquiditätsengpasses oder zur Sicherstellung seiner Existenzfähigkeit benötigte. Vorliegend wurde im Antragsverfahren vielmehr im Gegenteil geprüft und festgestellt, dass die Zahlungsfähigkeit und Existenz der Klägerin trotz der Pandemie und der geplanten Investition gesichert war. Die Klägerin war zum Zeitpunkt der Bewilligung als 100%ige Tochter der E. ein Teilunternehmen des E. Konzerns. Die Y.-Gruppe hatte als oberstes Konzernunternehmen der E.-Gruppe und damit auch der E. die finanzielle Unterstützung für die Zukunft zugesagt, sodass die E., und damit auch die Klägerin, finanziell abgesichert waren. Dementsprechend trägt auch die Klägerin selbst nicht vor, dass ihre Existenz gefährdet gewesen sei oder sie die ihr gewährte Investitionsbeihilfe benötigt habe, um Liquiditätsengpässe zu beheben. Sie hat vielmehr bekräftigt, sie hätte die seinerzeit geplante Investition von 2,2 Mio. Euro auch ohne die Förderung vornehmen können. Selbst wenn der Klägerin wegen der Schließung von Bekleidungsgeschäften ohne den Rückgriff auf Rücklagen ein Liquiditätsengpass gedroht hätte, rechtfertigte dies allein noch nicht die Gewährung der ihr bewilligten Investitionsbeihilfe aufgrund der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020. Zielrichtung dieser Beihilfe war es nämlich nicht einmal entfernt, die Liquidität oder Existenz der Klägerin zu sichern. Vielmehr ging es darum, ihr eine Investition zu ermöglichen, für die sie trotz der Pandemie ganz erhebliche Eigenmittel aufzubringen bereit und in der Lage war. Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV gestattet keine nationale Beihilferegelung oder Einzelbeihilfe ohne eine von der Kommission vorgenommene und hierauf bezogene Prüfung, ob sie sich im Rahmen dieser Vorschrift halten und zur Verfolgung der danach legitimen Zielrichtung insbesondere erforderlich, angemessen und verhältnismäßig sind. Nur der Kommission, nicht den nationalen Stellen ist für diese Beurteilung ein weites Ermessen eingeräumt. Eine solche Prüfung hat bezogen auf die Gewährung von Regionalbeihilfen in Form von Investitionsvorhaben, sofern wie hier nicht die Freistellungsvoraussetzungen der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung vorlagen, auch nicht mit der Genehmigung der Geänderten Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 stattgefunden. In Rn. 11, 18, 86 f. des Befristeten Rahmens in der seinerzeit geltenden Fassung der 5. Änderung hatte die Kommission lediglich die Absicht zum Ausdruck gebracht, auf der Grundlage von Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV Unternehmen, die aufgrund der Covid-19-Pandemie mit einer geringeren Nachfrage zu kämpfen hätten, entweder durch einen Beitrag zur Deckung eines Teils ihrer Fixkosten oder sonst mit dem Ziel zu unterstützen, das Fortbestehen dieser Unternehmen sicherzustellen, eine Verschlechterung ihrer Kapitalausstattung zu verhindern und ihnen eine solide Grundlage für die Erholung von der Krise zu verschaffen. Dabei hat sie – wie ausgeführt – in diesem rechtlichen Kontext nur über die Vereinbarkeit begrenzter Beihilfen mit dem Binnenmarkt für einen befristeten Zeitraum entschieden, die dazu bestimmt waren, „die Liquiditätsengpässe von Unternehmen zu beheben und sicherzustellen, dass die durch den COVID-19-Ausbruch verursachten Störungen die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen, insbesondere von KMU, nicht beeinträchtigen“. Vgl. EuGH, Urteil vom 4.10.2024 – C-124/23 P –, ECLI:EU:C:2024:860, juris, Rn. 50 ff., 53. Auf eine Beihilfe, um coronabedingte Liquiditätsengpässe zu überbrücken und das Fortbestehen des Betriebs der Klägerin sicherzustellen, beschränkte sich die in Rede stehende Förderung gerade nicht. Vielmehr handelte es sich um eine Investitionsbeihilfe in Form einer Regionalbeihilfe. Investitionsbeihilfen in Form von direkten Zuschüssen hatte die Kommission aufgrund des Befristeten Rahmens allerdings nur für bestimmte Maßnahmen zur Beschleunigung der Forschung und Entwicklung sowie für Erprobungs- und Hochskalierungseinrichtungen, die zur Entwicklung von COVID-19 betreffenden Produkten beitrugen, und zur Unterstützung der Herstellung von für die Bewältigung des Ausbruchs benötigten Produkten als auf Grundlage von Art. 107 Abs. 3 Buchst. c AEUV mit dem Binnenmarkt vereinbar angesehen (Ziffer 3.6. und insb. 3.7.). Insoweit hat die Kommission das mit solchen Beihilfemaßnahmen verfolgte gemeinsame Ziel und ihre positiven Auswirkungen im Hinblick auf die Bewältigung der durch den Ausbruch von COVID-19 hervorgerufenen gesundheitlichen Notlage gebührend berücksichtigt und gegen die möglichen negativen Auswirkungen dieser Maßnahmen auf den Binnenmarkt abgewogen (Rn. 16a). Für andere Investitionsbeihilfen hat die Kommission im Befristeten Rahmen keine Abwägung vorgenommen und solche dementsprechend auch nicht mit der hierauf beruhenden Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 genehmigt. Vielmehr hieß es dort insoweit lediglich, dass die Mitgliedstaaten „im Einklang mit Gruppenfreistellungsverordnungen Unterstützungsmaßnahmen ohne Beteiligung der Kommission konzipieren“ durften (Rn. 13) und dass befristete Beihilfemaßnahmen, die unter die Vorgaben des Befristeten Rahmens fielen, mit Beihilfen kumuliert werden durften, die unter De-minimis-Verordnungen oder Gruppenfreistellungsverordnungen fielen, sofern die Bestimmungen und Kumulierungsvorschriften der betreffenden Verordnungen eingehalten wurden (Rn. 20). Sofern sich also keine Besonderheiten aus dem „Befristeten Rahmen“ ergaben, sollte es bei den ohnehin schon geltenden Regelungen verbleiben. Eine Kumulierung war nur zulässig, sofern auch die Voraussetzungen jeder Gestattung oder Freistellungsregelung vorlagen. Eine andere Einschätzung ergibt sich schließlich nicht aus der von der Klägerin vorgenommenen Unterscheidung zwischen Billigkeitsleistungen im Sinne der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 und der Regionalförderung als bundesweite Hilfe. Unionsrechtlich handelte es sich jeweils um Beihilfen im Sinne von Art. 107 f. AEUV, die zu ihrer Rechtmäßigkeit einer Genehmigung bedurften oder die Voraussetzungen einer Freistellungsregelung einhalten mussten. II. Ermessensfehler der Beklagten sind nicht gegeben. Ihr Ermessen war angesichts der unionsrechtswidrigen Beihilfegewährung in Richtung auf die Rücknahme der rechtswidrig gewährten Zuwendung mit Wirkung für die Vergangenheit eingeschränkt, ohne dass außergewöhnliche Umstände gegeben waren, die sie hätte berücksichtigen müssen. Zwar enthält das Gemeinschaftsrecht keine Rechtsvorschriften, die die Befugnis der Behörde gegenüber dem Beihilfeempfänger regeln, Bewilligungsbescheide über in Durchführung des Gemeinschaftsrechts gewährte Prämien und Beihilfen zurückzunehmen oder zu widerrufen. Vgl. BVerwG, Urteil vom 10.12.2003 – 3 C 22.02 –, juris, Rn. 15. Allerdings obliegt im Rahmen innerstaatlicher Ermächtigungsnormen – hier nach § 48 VwVfG NRW – einer nationalen Stelle, die feststellt, dass eine Beihilfe, die sie gewährt hat, nicht die Voraussetzungen nach Art. 108 Abs. 3 AEUV erfüllt, nach der Rechtsprechung des Europäischen Gerichtshofs, die rechtswidrig gewährte Beihilfe aus eigener Initiative zurückzufordern. Vgl. EuGH, Urteile vom 5.3.2019 – C-349/17 –, ECLI:EU:C:2019:172, juris, Rn. 89 ff., und vom 7.4.2022 – C-102/21 u. a. –, ECLI:EU:C:2022:272, juris, Rn. 48 ff. Die Klägerin kann sich als Empfängerin einer nach Art. 108 Abs. 3 AEUV rechtswidrigen Beihilfe nicht gemäß § 48 Abs. 2 Satz 1 VwVfG NRW auf ein Vertrauen in den Bestand des Verwaltungsakts berufen. Ein etwaiges Vertrauen ist nicht schutzwürdig. Dabei kann auf sich beruhen, ob die Bewilligung auch auf falschen Antragsangaben beruhte. Nach ständiger Rechtsprechung des Gerichtshofs setzt das Recht, sich für den Fall einer unionsrechtswidrigen Beihilfegewährung auf den Grundsatz des Vertrauensschutzes zu berufen, voraus, dass die zuständigen Unionsbehörden dem Betroffenen klare, unbedingte und übereinstimmende, aus befugten und zuverlässigen Quellen stammende Zusicherungen erteilt haben. Klare, nicht an Bedingungen geknüpfte und übereinstimmende Auskünfte stellen unabhängig von der Form ihrer Mitteilung solche Zusicherungen dar. Insbesondere kann der Empfänger einer Beihilfe, wenn sie ohne vorherige Anmeldung bei der Kommission gewährt wurde, so dass sie gemäß Art. 108 Abs. 3 AEUV rechtswidrig ist, in diesem Moment kein berechtigtes Vertrauen in die Ordnungsmäßigkeit ihrer Gewährung haben. Dabei hat die Kommission den nationalen Stellen keine Entscheidungsbefugnis eingeräumt, was die Reichweite der Befreiung von der Anmeldung betrifft, so dass sich diese Stellen ebenso wie die potenziellen Beihilfeempfänger vergewissern müssen, dass ihre Entscheidungen im Einklang mit der Entscheidung der Kommission stehen. Vgl. EuGH, Urteil vom 5.3.2019 – C-349/17 –, ECLI:EU:C:2019:172, juris, Rn. 97 f., 102, m. w. N. Auf Auskünfte der zuständigen Unionsbehörden, aus denen die Klägerin ableiten könnte, die Zuwendung behalten zu dürfen, kann sie sich nicht berufen. Der Europäische Gerichtshof verneint in Fällen den Vertrauensschutz, in denen die zuständigen Unionsbehörden, auf die es insoweit ankommt, zuverlässige Informationen veröffentlichen, nach denen die Rechtmäßigkeit der Beihilfen beurteilt werden kann. So lag es hier unabhängig davon, dass auch die Beklagte das Verbot des vorzeitigen Maßnahmenbeginns ausschließlich nach innerdienstlichen nationalen Vorgaben und nicht nach dem unmittelbar geltenden Unionsrecht beurteilt hat, zumal dem Bewilligungsbescheid ausreichend klar entnommen werden konnte, dass es sich um eine Zuwendung im Sinne des europäischen Beihilfenrechts handelte. Der beihilferechtliche Begriff des Anreizeffektes nach Art. 6 AGVO war, wie ausgeführt, in der Rechtsprechung des Europäischen Gerichtshofs bereits grundsätzlich geklärt. Die von der Klägerin geltend gemachten Bedenken an der rechtsstaatlich gebotenen Bestimmtheit greifen bezogen auf den unionsrechtlichen Begriff des Beginns der Arbeiten nicht durch. Nach allgemeinen rechtsstaatlichen Grundsätzen muss der Gesetzgeber im Bereich der Grundrechtsausübung alle wesentlichen Entscheidungen selbst treffen und Rechtsvorschriften so genau fassen, wie dies nach der Eigenart der zu ordnenden Lebenssachverhalte mit Rücksicht auf den Normzweck möglich ist. Es genügt, dass mit Hilfe der üblichen Auslegungsmethoden und unter Berücksichtigung gefestigter Rechtsprechung eine zuverlässige Grundlage für die Auslegung und Anwendung der fraglichen Norm gewonnen werden kann. Vgl. BVerfG, Beschlüsse vom 19.11.2021 – 1 BvR 781/21 u. a. –, BVerfGE 159, 223 = juris, Rn. 155 f., und vom 16.8.2021 – 2 BvR 972/21 –, juris, Rn. 16. Soweit die Beteiligten die Zuwendung auf der Grundlage der RWP-Richtlinie 2021 auf die Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 gestützt haben, lässt sich diese Annahme weder auf den dieser Regelung zu Grunde liegenden Befristeten Rahmen noch auf die hierauf beruhenden Genehmigungen der Bundesregelung Kleinbeihilfen 2020 durch die EU-Kommission stützen. Die Kommission hatte darin, wie ausgeführt, im Einzelnen klargestellt, unter welchen Voraussetzungen und zu welchen Zwecken den Mitgliedstaaten die Gewährung von Beihilferegelungen und Einzelbeihilfen im Rahmen von Art. 107 Abs. 3 Buchst. b AEUV genehmigt werden konnte und genehmigt war. In diesem rechtlichen Kontext hatte die Kommission nur über die Vereinbarkeit begrenzter Beihilfen mit dem Binnenmarkt für einen befristeten Zeitraum entschieden, die dazu bestimmt waren, „die Liquiditätsengpässe von Unternehmen zu beheben und sicherzustellen, dass die durch den COVID-19-Ausbruch verursachten Störungen die Existenzfähigkeit solcher Unternehmen, insbesondere von KMU, nicht beeinträchtigen“. Vgl. EuGH, Urteil vom 4.10.2024 – C-124/23 P –, ECLI:EU:C:2024:860, juris, Rn. 50 ff., 53. Dazu war die in Rede stehende Beihilfe unstrittig nicht bestimmt. Außergewöhnliche Umstände, die es im Falle der Klägerin dennoch geboten hätten, eine Ausnahme von dem unionsrechtlichen Gebot der grundsätzlich erforderlichen Rücknahme der Zuwendung anzunehmen, und die die Beklagte im Rahmen ihres Ermessens unberücksichtigt gelassen haben könnte, liegen nicht vor. Nach höchstrichterlicher Rechtsprechung kann der Rücknahme eines Bewilligungsbescheids bei fehlendem Vertrauensschutz allenfalls nach Treu und Glauben der Einwand unzulässiger Rechtsausübung entgegenstehen. Vgl. BVerwG, Urteil vom 23.5.1996 – 3 C 13.94 –, juris, Rn. 50. Ein treuwidriges Verhalten der Beklagten liegt hier aber nicht vor. Insbesondere war es nicht treuwidrig, die Zuwendung insgesamt und nicht nur anteilmäßig insoweit zurückzunehmen, als mit ihr die Anzahlung oder jedenfalls die Mittel für die Anschaffung der Robby- und Legeanlage gewährt werden sollten, zumal es sich um dabei um im Verhältnis zur Gesamtinvestition nur geringe Summe gehandelt habe. Zwar sind die mitgliedstaatlichen Behörden grundsätzlich nicht daran gehindert, die Rückforderung einer unter Verstoß gegen Art. 108 Abs. 3 Satz 3 AEUV gewährten Beihilfe auf den Teil zu beschränken, der nicht die in der Verordnung (EU) Nr. 651/2014 festgelegten Kriterien erfüllt. Vgl. EuGH, Urteil vom 7.4.2022 – C-102/21 –, ECLI:EU:C:2022:272, juris, Rn. 48 f. Bei einem hier gegebenen Verstoß gegen Art. 6 Abs. 2 Satz 1 AGVO kommt eine solche Beschränkung allerdings nicht in Betracht, weil der nach Art. 6 Abs. 1 für die Freistellung erforderliche Anreizeffekt notwendigerweise für die gesamte Beihilfe nicht gegeben ist und sie deshalb in voller Höhe nicht die Freistellungsvoraussetzungen erfüllt. Auch der Einwand der Klägerin, die Beklagte hätte sich vor Erlass des Rücknahmebescheids inhaltlich damit auseinandersetzen müssen, dass alle Beteiligten die von ihr selbst geforderten subventionserheblichen Erklärungen abgegeben hätten, führt nicht auf treuwidriges Verhalten der Beklagten. Die Beklagte war mit der Anforderung der Erklärungen, deren Inhalt auf den bisherigen Angaben der Klägerin beruhte und keine Benachteiligungstendenz zu ihren Lasten erkennen lässt, lediglich ihrer Verpflichtung zur Ermittlung des Sachverhalts nachgekommen und hatte in dem Begleitschreiben darauf hingewiesen, dass eine abschließende Entscheidung über die Angelegenheit erst nach Abgabe der Erklärungen erfolgen werde. Die Annahme der Klägerin, dass bei Abgabe der Erklärungen keine Rücknahme erfolgen werde, war nicht durch die Beklagte veranlasst und damit jedenfalls nicht schutzwürdig. Schließlich steht der Rücknahme des Zuwendungsbescheids nicht entgegen, dass die bewilligten Mittel noch nicht ausgezahlt worden sind und die Beklagte bereits den Mittelabruf zum Anlass genommen hat, den Zuwendungsbescheid zurückzunehmen. Der in diesem Zusammenhang von der Klägerin erhobene Einwand bleibt ohne Erfolg, die Zuwendung sei noch nicht gewährt worden, sodass auch keine im Sinne des Art. 108 Abs. 3 AEUV verbotene Durchführung der Maßnahme vorliege und die Beklagte bzw. die Bundesrepublik Deutschland nicht zur Rücknahme verpflichtet seien, sondern die fehlende Notifizierung bei Aussetzung des Verfahrens noch erfolgen könne. Eine nachträgliche Genehmigung der Zuwendung durch die Kommission kommt nicht in Betracht, weil sie bereits unionsrechtswidrig gewährt worden ist. Nach der Rechtsprechung des Gerichtshofs gelten Beihilfen zu dem Zeitpunkt als „gewährt“ im Sinne von Art. 107 Abs. 1 AEUV, zu dem der Beihilfeempfänger nach dem geltenden nationalen Recht einen sicheren Rechtsanspruch auf die Beihilfe erworben hat und der Staat daraus folgend zu ihrer Gewährung verpflichtet war. Vgl. EuGH, Urteil vom 3.7.2025 – C-653/23 –, ECLI:EU:C:2025:517, juris, Rn. 18. Das war hier bereits mit der Bewilligung der Fall, ohne dass es auf die Auszahlung ankam. Die Kostenentscheidung beruht auf § 154 Abs. 2 VwGO. Die Entscheidung hinsichtlich der vorläufigen Vollstreckbarkeit folgt aus § 167 VwGO i. V. m. den §§ 708 Nr. 10, 711 ZPO. Die Revision ist nicht zuzulassen, weil die Voraussetzungen hierfür nach § 132 Abs. 2 VwGO nicht vorliegen.